MWT-2PI耐高溫晶圓吸筆頭為PI聚酰亞胺熱固性材料,長(zhǎng)期可以使用高溫環(huán)境中,在400℃溫度下能保持良好的尺寸穩(wěn)定性和密封性,耐酸堿腐蝕,盤面尺寸寬度20mmx30mm長(zhǎng)度,吸面工字型氣孔槽,前端6x6mm方形小鏟突出便于伸進(jìn)晶圓之間的間隙或者翹起被吸物體,適用于2寸~4寸Wafer硅片拾取轉(zhuǎn)移。
在處理轉(zhuǎn)移單晶硅、多晶硅、太陽(yáng)能晶片和半導(dǎo)體晶圓片時(shí),主要使用聚醚酰亞胺(PEI)、聚醚醚酮(PEEK)、聚酰亞胺(PI)、聚酰胺亞胺(PAI)、聚苯硫醚(PPS)、聚甲醛(POM)等高性能持種工程塑料材質(zhì)制成的工具來(lái)接觸Wafer硅片、die晶粒芯片等敏感物體。常用的PEEK聚醚醚酮長(zhǎng)期使用溫度100-260℃,不同廠家工藝指標(biāo)略有區(qū)別,用于常規(guī)環(huán)境下的操作,產(chǎn)品形式包括吸盤、筆桿、吸筆頭、晶圓夾、芯片鑷子等。在Wafer晶圓處理中溫度超過(guò)300℃時(shí),PEEK材質(zhì)就不再適用,需要耐溫等級(jí)更高的PI聚酰亞胺。PI高性能熱固性材料可以長(zhǎng)期使用在超過(guò)300℃的高溫環(huán)境中,同時(shí)能保持良好的尺寸穩(wěn)定性和密封性,如MWT-2PI耐高溫晶圓吸筆頭。
熱固性塑料PI、PEEK、PAI、POM等具有耐高溫、低摩擦、電氣性能優(yōu)異等特點(diǎn),用來(lái)制作成吸盤或晶圓吸筆頭拾取電子零件或者晶圓硅片等硬平面物體,移動(dòng)快速輕便,不會(huì)污染產(chǎn)品表面。
PEEK聚醚醚酮,長(zhǎng)期使用溫度100-175℃,本色為米黃色絕緣,ESD防靜電處理后為黑色
PI聚酰亞胺樹脂,長(zhǎng)期工作溫度290℃左右,短期可達(dá)450℃度,顏色棕色
國(guó)產(chǎn)MWT-2PI晶圓吸筆頭盤面寬度20mmx30mm長(zhǎng)度,工字型氣孔吸附槽,前端6x6mm方形鏟頭便于進(jìn)入縫隙或翹起硅晶片,總長(zhǎng)度125mm,用來(lái)吸取2寸晶圓硅片及3~4英寸,適配通用的連接桿,可與國(guó)產(chǎn)WWB-O晶圓吸筆桿、或者美國(guó)Virtual晶圓吸筆配套使用,后端用氣管與電動(dòng)真空泵(國(guó)產(chǎn)V2-MW8、進(jìn)口WV-9000)、廠務(wù)真空氣源對(duì)接組成成套工具。另可提供各種材質(zhì)及形狀的吸筆頭,滿足客戶特殊用況,歡迎聯(lián)系咨詢。
型號(hào) | 材質(zhì) | 盤面尺寸 (長(zhǎng)度x寬度x厚度) | 特點(diǎn)與應(yīng)用 |
MWT-PI3010 | PI 棕色 | 短小圓角36mmx10mmx3mm,吸1-2寸晶圓 | 耐強(qiáng)酸堿,長(zhǎng)時(shí)間耐高溫300℃、短期400℃ |
MWT-PI3010B | PI 棕色 | 廋長(zhǎng)方尖30mmx10mmx3.8mm,吸1-2寸晶圓 | 同上 |
MWT-2PI吸筆頭 | PI 棕色 |
工字鏟頭36mmx20mmx3mm,吸2-4寸晶圓 厚度吸盤3mm、金屬桿直徑1.8mm,插桿6.45mm |
耐強(qiáng)酸堿,長(zhǎng)時(shí)間耐高溫300℃、短期400℃ |
MWT-2PI-2 | PI 棕色 | 葫蘆鏟頭36mmx20mmx4mm,吸2-4寸晶圓 | 同上 |
MWT-PI4620 | PI 棕色 | 廋長(zhǎng)方尖46mmx20mmx3.3mm,吸4-6寸晶圓 | 同上 |
MWT-PI4825 | PI 棕色 | 方形鏟頭48mmx25mmx3.8mm,吸6-8寸晶圓 | 同上 |
MW-TPAI4620 | PAI 棕綠色 | 廋長(zhǎng)方尖46mmx20mmx3.3mm,吸4-6寸晶圓 | 耐高低溫-40℃至260℃ |
MWT-ST3 | 不銹鋼材質(zhì) | 三角形 吸1-2寸晶圓,另有方形款MW-ST4 | 耐高溫800℃ |
MWT-PEEK3010 | PEEK 米黃 | 短小圓角36mmx10mmx3mm,吸1-2寸晶圓 | 常溫下使用 |
MWT-PEEK3010B | PEEK 米黃 | 廋長(zhǎng)方尖30mmx10mmx3.8mm,吸1-2寸晶圓 | 常溫下使用 |
MWT-2PEEK | PEEK 米黃 | 工字鏟頭36mmx20mmx4mm,吸2-4寸晶圓 | 常溫下使用 |
MWT-2PEEK-2 | PEEK 米黃 | 葫蘆鏟頭36mmx20mmx4mm,吸2-4寸晶圓 | 常溫下使用 |
MWT-PEEK-A | PEEK 黑色防靜電 | 細(xì)長(zhǎng)窄型115mmx12mmx3mm,吸2-4寸晶圓 | 防靜電,常溫使用 |
MWT-PEEK-A2 | PEEK 黑色防靜電 | 方形20mmx30mmx3mm,吸2-4寸晶圓 | 防靜電,常溫使用 |
MWT-PEEK-B | PEEK 黑色防靜電 | 方形38mmx35mmx3mm,吸6寸晶圓 | 防靜電,常溫使用 |
MWT-PEEK-C | PEEK 黑色防靜電 | 方形55mmx35mmx3mm,吸8寸晶圓 | 防靜電,常溫使用 |
MWT-PEEK-C30D | PEEK 黑色防靜電 | 彎頭方形55mmx35mmx3mm,吸8寸晶圓 | 防靜電,常溫使用,彎頭伸進(jìn)槽類容器吸取 |
吸筆桿WWB-O | POM 黑色防靜電 | 真空常開保持吸附,按鈕操作,按下釋放掉片,全長(zhǎng)163mm,接2.5mm內(nèi)徑氣管 | |
氣管VCH-PU | PU 黑色 | 可伸縮彈簧管,內(nèi)徑2.5mmx4mm外徑,拉伸長(zhǎng)度2米,也可訂購(gòu)3米 | |
塑料筆座VB-901 | POM 黑色 | 底部需用雙面膠粘貼固定住,高度95mm,帶閉氣卡槽檔放置筆桿時(shí)自動(dòng)壓緊按鈕關(guān)閉通路 |
一、PEEK聚醚醚酮(廣泛采用的材質(zhì)類型)
高強(qiáng)度、高韌性、高剛度和良好的耐熱性
溫度純樹脂150-175℃、增強(qiáng)型樹脂300℃左右
獨(dú)特的強(qiáng)度、剛度、抗沖擊、抗拉、抗壓強(qiáng)度,強(qiáng)硬但對(duì)凹痕敏感
出色的耐摩擦性,摩擦系數(shù)小,優(yōu)異的機(jī)械性能、耐高溫性、耐化學(xué)腐蝕性
優(yōu)異的耐化學(xué)性,耐受幾乎所有有機(jī)和無(wú)機(jī)化學(xué)品(除超強(qiáng)腐蝕性的發(fā)煙硫酸和硝酸、二氯甲烷等)
高介電強(qiáng)度,絕緣性能好,高擊穿電壓
優(yōu)異的阻隔性(CO2,H2S等)、抗輻射性能
二、PI聚酰亞胺(耐高溫應(yīng)用)
超級(jí)工程塑料,耐高溫、耐腐蝕,自潤(rùn)滑、低磨耗
長(zhǎng)期使用溫度超過(guò)300℃以上,短期達(dá)400~450℃
力學(xué)性能優(yōu)異、尺寸穩(wěn)定性好、熱膨脹系數(shù)小、高絕緣、低熱導(dǎo)、不熔融
可在很多情況下替代金屬、陶瓷、聚四氟乙烯等
廣泛應(yīng)用在航空、航天、微電子、納米、液晶、分離膜、激光等領(lǐng)域
三、PAI聚酰胺-酰亞胺
穩(wěn)定的芳雜環(huán)結(jié)構(gòu)具有無(wú)法比擬的耐熱性和耐低溫性
從-40°C低溫到260°C都能正常工作,高溫下良好的機(jī)械性能和尺寸穩(wěn)定性
出色的機(jī)械強(qiáng)度,易加工性,耐航空和汽車工作液的能力
低可燃性、低發(fā)煙性,抗疲勞強(qiáng)度,耐沖擊強(qiáng)度
抗蠕變性,耐磨損,低膨脹系數(shù)、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性