美國Virtual VMWT-B 6寸晶圓吸筆頭MOLDED PEEK Wafer Tips盤面35.56mm x 33.02mm,用于六寸wafers硅片外延片拾取轉(zhuǎn)移,與電池式/電動真空吸筆配套使用,或使用空壓吸筆套件的轉(zhuǎn)接頭連接廠務(wù)真空氣源、壓縮空氣來提供持續(xù)吸力。
Virtual VMWT-B吸筆頭采用PEEK聚醚醚酮塑料模制而成,ESD防靜電安全,用于拾取轉(zhuǎn)移六寸wafer硅片、外延片、Solar Cell太陽能電池,工作可達(dá)100℃(另有耐溫250℃硬質(zhì)陽極氧化鋁合金材質(zhì)型號應(yīng)對高溫應(yīng)用)。VMW-B 6寸晶圓吸筆頭盤面寬35mm、厚2.5mm,可以方便地從晶舟、支架或晶圓盒上拾取轉(zhuǎn)移,與電池式及電動真空吸筆配套使用,或使用空壓吸筆套件的轉(zhuǎn)接頭連接廠務(wù)真空氣源、壓縮空氣來提供持續(xù)吸力。
■ PEEK聚醚醚酮材質(zhì),模塑加工制成,ESD防靜電,耐溫100℃,頭部厚度0.1寸=2.54mm、手柄長78.74mm
VMWT-A 4寸WAFER吸筆頭:盤面長*寬=35.56mm x 12.70mm,用于四寸 (100mm) wafers
VMWT-B 6寸晶圓吸筆頭:盤面長*寬35.56mm x 33.02mm,拾取轉(zhuǎn)移六寸6” wafer晶圓
VMWT-C 8寸晶圓吸筆頭:盤面長*寬53.34mm x 35.56mm,拾取八英寸(200mm) wafers
VMWT-D方形12寸吸筆頭:盤面長*寬78.74mm x 53.34mm,可用于拾取12英寸wafers
VWT-5R-AR圓形12寸吸筆頭:中心有孔減少接觸面,外徑127mm,可處理12" 300mm晶圓、硅片、平板
另可選購防止轉(zhuǎn)動的適配頭VMWT-ADAPT-AR:ESD-Safe Anti Rotate Tip Adaptor、VF-40M-5接口過濾器5個一組
特殊擴展型號:
1、彎曲型——VMWT-A/B/C/D型可訂購向下彎曲D或者上彎型U,常規(guī)的彎曲角度有10°、20°、30°,在型號后面加入方向及角度代碼,如:VMWT-B30D表示6寸吸筆頭盤面向下彎曲30度,VMWT-C30U 8寸吸筆頭上彎30度。另可訂購“L”左彎、“R”右彎如VMWT-B20L,或者特殊定制款。
2、加長型——VMWT-B/C/D即6寸、8寸、12寸筆頭可加長連接桿長度,由標(biāo)準(zhǔn)長78.74mm擴展到200mm,對應(yīng)型號分別為VMWT-B-EX200、VMWT-C-EX200、VMWT-D-EX200。
Press-Fit Molded PEEK吸筆頭規(guī)格說明書http://oznappies.com/download/201812/Virtual_PEEK_VMWT-ABCD.pdf
Virtual晶圓吸筆頭選型文檔http://oznappies.com/download/201812/Virtual_Wafer_Tips_VMWT.pdf
另有耐高溫涂層吸筆頭VWT-170110-PF,采用鋁制陽極氧化材質(zhì)、厚度3.3mm,不銹鋼連接桿長度76.20mm,工作溫度高達(dá)250℃,與PEEK材質(zhì)一樣具有4寸/6寸/8寸/12寸型號可選,支持特殊擴展的彎曲角度、加長連接桿長度。
1、便攜電池式晶圓吸筆
VPWE7300AR-MW8八寸真空吸筆,配VMWT-C 8寸筆頭,可現(xiàn)場更換的充電電池,帶電量及安全真空度提示燈
VPW6300-VWT5R-220 12寸晶圓吸筆,配VWT-5R-AR圓形吸筆頭,12寸wafers拾取,帶安全真空度操作提示燈
VPW6300AR-MW8晶圓真空吸筆,配8寸PEEK吸筆頭VMWT-C,內(nèi)置電池帶電量提示和操作指示燈
PV4000A-MW4吸筆,配VMWT-A 4寸筆頭,一次性9V電池供電,便攜式操作,低成本,可選更換4~12寸頭
PV4300-MW8電池式晶圓吸筆,帶八英寸筆頭,安全真空度操作提示燈,9V電池供電,性價比高
V3200-CLN-MW6六寸晶圓吸筆,內(nèi)置9V電池微型真空發(fā)生器,口袋型設(shè)計,潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
2、臺式電動插電型
WVE-9000-MW8八寸晶圓吸筆,條形真空度顯示,確保安全操作安全可靠
AV-5000可調(diào)式真空吸筆,ADJUST-A-VAC® Elite旋鈕調(diào)整吸力主機,保護(hù)銦化鎵、氮化鎵等脆弱易碎晶圓
WV-9000-MW8-220插電式經(jīng)濟型版本,可更換4"、6"、8寸、12英寸晶圓吸筆頭
3、晶圓吸筆套件,外接氣源,壓縮空氣或氮氣
VWWB-2A-MW8-1/8真空吸筆套件,PEEK VMWT-C吸頭,1/8螺紋適配接口
VVSW-MW8空壓式晶圓吸筆,2米1/16寸接口管VCH-1/16-6